کامران کشاورزدیوکلایی - دانشجوی دکتری نانوالکترونیک - انستیتو رادیوالکترونیک، الکترونیک و اتوماسیون مسکو (دانشگاه فنی)

در تحقیق حاضر، رفتار هارمونیک و فرکانسی رزوناتور حلقوی ژیروسکوپ های MEMS بر پایه مکانیزم تحریک پیزوالکتریک به کمک نرم افزار CoventorWare مورد تحلیل قرار گرفته اند. در همین راستا شبیه سازی بر روی نمونه های نیترید آلومینیونم (AIN) و تیتانات زیرکونات سرب (PZT) با ساختار پروسکایت صورت پذیرفت. در این روش از مدلسازی المان محدود برای بدست آوردن پاسخ فرکانسی و میزان جابجایی دو نمونه استفاده شد.

؛PZT, AIN، ژیروسکوپ MEMS، تحریک پیزوالکتریک