بررسی تاثیر نسبت زمان خاموشی به زمان روشنایی در ایجاد لایه های نازکTiN از طریق روش PACVD بر روی فولاد ابزار
Publish place: 09th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,239
This Paper With 13 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE09_069
تاریخ نمایه سازی: 3 آبان 1388
Abstract:
فرایند رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما (PACVD) امکان ایجاد لایه های نازک روی زیرلایه های فولادی با اشکال هندسی پیچیده را در زیر دمای برگشت فراهم میکند.در این تحقیق به منظور بهبود ساختار و خواص کاربردی یک نوع فولاد ابزار گرم کار از فزایند PACVD برای رسوب لایه های نازک نیترید تیتانیوم استفاده شد.بدین منظور گازهای Ar .n2 H2 و بخار TiCl4 با مجموع دبی ورودی 2nl/min و نسبت n2h2=./22 در دمای 540 درجه و فشار محفظه 5-3 mbar وارد محفظه پلاسما با جریان مستقیم پالسی شده و رسوب دهی به مدت 90 دقیقه صورت گرفت در این آزمایشات از 3 نسبت مختلف زمانهای روشنایی و خاموشی به عنوان پارامتر تاثیر گذار بر ایجاد لایه های Tin و خواص آنها استفاده گردید.به منظور بررسی لایه های ایجاد شده از آنالیز پراش اشعه ایکس میکروسکوپ الکترونیکی روبشی آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی و آزمایش نانو سختی سنجی استفاده شد.نتایج نشان داد که با افزایش نسبت Tpause/Tpause رنگ پوشش به سمت طلایی میل کرده ودر انتها لایه تشکیل شده از یک رشد همسانگرد سطح صاف تر ضخامت بیشتر اندازه دانه های کوچکتر و نانو سختی بالاتر برخوردار گردید.بیشترین رشد لایه ها در بیشترین Tpause صورت گرفته که با مبانی تئوری موجود تطابق دارد.
Keywords:
رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما.نیترید تیتانیوم.لایه نازک
Authors
مانی منتظری
دانشجوی کارشناسی مهندسی مواد و متالورژی دانشگاه علم و صنعت ایران
شاهرخ آهنگرانی
استادیار سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
منصور سلطانیه
دانشیار دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه علم و صنعت ایران
علی محمدی
کارشناس ارشد مهندسی مواد و متالورژی
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :