مانی منتظری - دانشجوی کارشناسی مهندسی مواد و متالورژی دانشگاه علم و صنعت ایران
شاهرخ آهنگرانی - استادیار سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
منصور سلطانیه - دانشیار دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه علم و صنعت ایران
علی محمدی - کارشناس ارشد مهندسی مواد و متالورژی

فرایند رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما (PACVD) امکان ایجاد لایه های نازک روی زیرلایه های فولادی با اشکال هندسی پیچیده را در زیر دمای برگشت فراهم میکند.در این تحقیق به منظور بهبود ساختار و خواص کاربردی یک نوع فولاد ابزار گرم کار از فزایند PACVD برای رسوب لایه های نازک نیترید تیتانیوم استفاده شد.بدین منظور گازهای Ar .n2 H2 و بخار TiCl4 با مجموع دبی ورودی 2nl/min و نسبت n2h2=./22 در دمای 540 درجه و فشار محفظه 5-3 mbar وارد محفظه پلاسما با جریان مستقیم پالسی شده و رسوب دهی به مدت 90 دقیقه صورت گرفت در این آزمایشات از 3 نسبت مختلف زمانهای روشنایی و خاموشی به عنوان پارامتر تاثیر گذار بر ایجاد لایه های Tin و خواص آنها استفاده گردید.به منظور بررسی لایه های ایجاد شده از آنالیز پراش اشعه ایکس میکروسکوپ الکترونیکی روبشی آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی و آزمایش نانو سختی سنجی استفاده شد.نتایج نشان داد که با افزایش نسبت Tpause/Tpause رنگ پوشش به سمت طلایی میل کرده ودر انتها لایه تشکیل شده از یک رشد همسانگرد سطح صاف تر ضخامت بیشتر اندازه دانه های کوچکتر و نانو سختی بالاتر برخوردار گردید.بیشترین رشد لایه ها در بیشترین Tpause صورت گرفته که با مبانی تئوری موجود تطابق دارد.

رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما.نیترید تیتانیوم.لایه نازک