CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

تاثیر حرارت دهی بر روی ویژگی های الکتریکی ، اپتیکی و ساختاری لایه های نانو کریستالی ITO

عنوان مقاله: تاثیر حرارت دهی بر روی ویژگی های الکتریکی ، اپتیکی و ساختاری لایه های نانو کریستالی ITO
شناسه ملی مقاله: ISSE09_125
منتشر شده در نهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی در سال 1387
مشخصات نویسندگان مقاله:

حمید رضا فلاح - دانشیار گروه پژوهشی اپتیک کوانتومی ، گروه فیزیک دانشگاه اصفهان
محسن قاسمی - دانشجوی دکتری ، گروه فیزیک دانشگاه اصفهان

خلاصه مقاله:
در این مقاله لایه های نازک اکسید اینیوم آلاییده با قلع با درصد ترکیب ده درصد SNO2 و 90% In2o3 در دمای اتاق بروی بسترهای شیشه ای با استفاده از روش تبخیر پرتو الکترونی انباشته شده اند سپس آنها را در مجاورت هوا در دماهای مختلف از 350 تا 550 به مدت یک ساعت حرارت داده ایم مطالعه نمودارهای پراش پرتو ایکس نشان میدهد که افزایش دمای پخت باعث افزایش بلورینگی لایه ها میشود در دمای 550 درجه بلورینگی لایه های نازک با کیفیت بالا با اندازه دانه 37 nm بدست آمد اندازه گیری های الکتریکی نشان میدهد رسانندگی الکتریکی نسبتا بالا در حدود 7 ´10-4Wcm بدست آورده شد طیف تراگسیل در ناحیه مرئی نشان میدهد که دمای پخت تاثیر به سزایی در میزان شفافیت لایه ها ITOnدارد بالاترین شفافیت در حدود 92% در دمای پخت در دمای 550 درجه بدست آمد همچنین در این مقاله گاف انرژی مستتقیم نیز برای لایه های پخت شده در دمای 550 تخمین زده شد که مقدار 3.85 -3.96 بدست آمد که با سایر مقادیر گزارش شده توسط دیگر محققان همخوانی دارد

کلمات کلیدی:
لایه های نازک ساختار نانو متری تبخیر پرتو الکترونی طیف تراگسیل مرئی پراش ایکس

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/79607/