بررسی تاثیر عملیات حرارتی و ضخامت لایه فوق نازک کاتالیستی بر جزیره بندی بسترهای رشد نانو وایرهای اکسیدی

ساخت نانووایرهای اکسیدی نیمه هادی، به روش تبخیر حرارتی مبتنی بر مکانیزم بخار – مایع – جامد، نیازمند بستر مناسب جوانه زنی و رشد تک جهته بر روی زیر لایه است. این بستر رشد که غالباً جزایر نانومتری از یک کاتالیست فلزی نظیر طلا است به روش های مختلف بر سطح زیر لایه ی رشد، ایجاد می گردد.در این تحقیق لایه کاتالیستی طلا با دو ضخامت 7 و 14 نانومتر با استفاده از روش تبخیر حرارتی، بر روی زیر لایه سیلیکونی لایه نشانی گردید. زیر لایه های حاوی لایه ی طلا با ضخامت های مختلف، در محیط گاز احیاء کننده در دمای ºC650 پخت شدند تا بستر جوانه زنی و رشد نانووایرهای اکسیدی حاصل آید.نتایج حاصل از آنالیز میکروسکوپ های نیروی اتمی (AFM) و الکترون روبشی (SEM) از زیرلایه های مذکور نشان داد که با احیاء سطح زیر لایه ها، زبری سطح نسبت به حالت احیاء نشده، اندکی افزایش می یابد و شکل گیری جزایر کاتالیستی بر روی سطح، منظم تر و توزیع قطری آنها یکنواخت تر می شود. همچنین قطر جزایر طلا در لایه ی کاتالیستی با ضخامت 7 نانومتر کوچکتر از نصف قطر جزایر کاتالیستی حاصل از لایه ی 14 نانومتری می باشد و در نتیجه بسیار مناسب تر برای دستیابی به ساختارهای شبه یک بُعدی با قطر زیر 100 نانو متر خواهند بود

Keywords:

نانووایرهای اکسیدی , جزیره بندی کاتالیستی , کاتالیست طلا , مکانیزم بخار – مایع – جامد