محمد طهماسبی پور - استادیار، سیستم های میکرو و نانوالکترومکانیک، دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران.
علی عطار - دانشجوی کارشناسی ارشد سیستم های میکرو و نانوالکترومکانیک، دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران
محمد دهقان - دانشجوی کارشناسی ارشد سیستم های میکرو و نانوالکترومکانیک دانشکده علوم و فنون نوین، دانشگاه تهران.

در این مقاله، جابه جایی خارج از صفحه یک میکروکانتیلور پیزوالکتریک با سطح مقطع T شکل به روش المان محدود مدلسازی شده است. به منظور افزایش جابه جایی خارج از صفحه این میکروکانتیلور، تاثیر پارامترهای هندسی بر جابه جایی خارج از صفحه میکروکانتیلور مذکور به روش تاگوچی بررسی شده است. سطح بهینه متغیرهای هندسی میکروکانتیلور برای دستیابی به بیشترین جابه جایی خارج از صفحه میکروکانتیلور، با تحلیل ضرایب سیگنال به نویز و ترتیب اهمیت تاثیر متغیرهای هندسی بر جابه جایی خارج از صفحه با تحلیل واریانس ANOVA تعیین شده است. در بین مشخصات هندسی تحلیل شده، طول میکرو کانتیلور L بیشترین تاثیر را بر روی میزان جابه جایی خارج از صفحه دارد. با افزایش طول میکرو کانتیلور جابه جایی خارج از صفحه آن بیشتر می شود. پس از طول، عمق جان تیرh بیشترین تاثیر را بر جابه جایی نوک میکرو کانتیلور دارد. هر چه اندازه عمق جان تیر کمتر باشد، میزان جابه جایی میکرو کانتیلور بیشتر است. با استفاده از سطوح بهینه متغیرهای هندسی، مقدار جابه جایی خارج از صفحه 296.3 میکرومتر بدست آمد که حدود 2.3 برابر نتیجه آخرین تحقیق انجام شده در این زمینه است. دستیابی به جابه جایی خارج از صفحه بالاتر در این میکروکانتیلورها موجب افزایش حساسیت و دقت میکرو سنسورها و افزایش دامنه جابه جایی و کارآیی میکرومحرک های مبتنی بر این میکروکانتیلورها می شود

میکروکانتیلور ، پیزوالکتریک ، جابه جایی خارج از صفحه ، تحلیل المان محدود