سوسن وجدانی درستکار - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه فردوسی مشهد، دانشکده علوم، گروه فیزیک، آزمایشگاه لایه نازک
محمود رضایی رکن آباد - استاد دانشگاه فردوسی مشهد، دانشکده علوم، گروه فیزیک، آزمایشگاه لایه نازک
محمد بهدانی - دانشیار دانشگاه فردوسی مشهد، دانشکده علوم، گروه فیزیک

در این مقاله میزان آبگریزی سطح سلیکون پوشش داده شده با دی اکسید زیرکونیوم 2 با دو روش اسپری پایرولیز و اسپین کوت مورد بررسی قرار گرفته است، محلول آماده شده برای این منظور با روش اسپری پایرولیز200 1 میلی لیتر محلول طی 20 مرحله و در هر مرحله 10 میلی لیتر اسپری شد و با روش اسپین کوت2 بر روی بستر سیلیکون تک کریستال در 8 مرحله به صورت لایه نازک نشانده شده و تحت پخت با دماهای 450 درجه سانتیگراد قرار گرفت. ساختار با استفاده از پراش پرتو (XRD) X، مورفولوژی و سایز نانو ذرات با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و زاویه تماس نمونه از طریق عکس برداری با میکروسکوپ دیجیتال مدل AM-7013MZT مورد بررسی قرار گرفت.

آبگریزی، دی اکسید زیرکونیوم zrO2، اسپین کوت، لایه نازک، زاویه تماس