مهدی تاجداری - دانشیار دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
سعید زارع چاوشی - دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، ساخت و تولید دانشگاه صنایع و معا
احسان شهبازی - کارشناس مهندسی مکانیک، ساخت و تولید

میکرو ماشین کاری و تکنولوژی های ساخت در اندازه میکرو که بطور مستقیم برای ساخت سیستم های میکرو الکترو مکانیکی استفاده می شوند محدودیتهای خاص خودشان را دارند برای مثال دراین تکنولوژی ، ساختاری که تولید می شود اغلب به استفاده از سیلیکون محدود می شود و تجهیزاتی که برای این تکنولوژی مورد نیاز است بسیار گران می باشد روشهای پرکاربرد میکروماشین کاری و تکنولوژی های ساخت قطعات در ابعاد میکرو شامل پروسه های روبرو می باشد : 1) متدهای براده برداری مانند میکروماشین کاری تخلیه الکتریکی، سنگ زنی با تخلیه الکتریکی و سیم و میکروماشین کاری لیزر 2) تکنیکهای رسوب دهی ماده مانند رسوب دهی بخار شیمیایی به کمک لیزر، استریو لیتوگرافی ماورا بنفش ، اچ کردن 3) LIGA ( که از یک کلمه آلمانی گرفته شده) و دیگر متدهای وابسته به فوتولیتوگرافی، مقاله حاضر به بررسی و مقایسه متدهای ذکر شده پرداخته است. برای ارزیابی روشها و معیارهای مطرح شده در پایان جدولی تهیه شده است که به مقایسه روشها و تکنولوژیها ی ذکر شده و نقاط قوت و ضعف هر یک می پردازد. با توجه به این جدول، پروسه LIGA علی رغم تجهیزات گران و قیمت ساخت یکی از مهمترین و کارآمدترین تکنیک ها می باشد.

ساخت درا ندازه میکرو، میکرو ماشین کاری، LCVD، استریو لیتوگرافی، LIGA