بررسی خاصیت پیزورزیستیویته پلی سیلیکون با تاکیدبر رشد دانه ها و پارامتر های فرایند ساخت
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 491
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
DTUCONF01_007
تاریخ نمایه سازی: 1 دی 1397
Abstract:
ویژگی های الکتریکی لایه های سیلیکو نی پلی کریستالی به ساختار دانه ها بستگی دارد. این مقاله توصیف جامع از رشددانه پلی سیلیکون در طیف گسترده ایی از دوپینگ و شرایط پردازش را نشان می دهد , دوپینگ پلی سیلیکون با B , As , p می باشد این نتایج نشان میدهد که دوپینگ نوع n باعث افزایش رشد دانه می شود , در حالیکه دوپینگ نوع P دارای اثر ناچیزی است , تاثیر رشد دانه را بر روی خاصیت پیزورزیستیویته نیز مشاهده می شود.
Keywords:
Authors
زهرا رستمی بیستونی
دانش آموخته کارشناسی ارشد - , گروه برق , دانشکده فنی مهندسی , دانشگاه آزاد اسلامی , واحد کرمانشاه , کرمانشاه , ایران
حمید شرافت وزیری
عضو هیات علمی , گروه برق , دانشکده فنی مهندسی , دانشگاه آزاد اسلامی , واحد کرمانشاه , کرمانشاه , ایران