شبیه سازی حرکت ارتعاشی میکروتیرک درمواجهه با نیروی مویینگی به کمک نرم-افزار متلب

به منظور شبیه سازی توپوگرافی سطح نمونه توسط میکروتیر پیزوالکتریک لازم است که پاسخ ارتعاشی میکروتیر پیزوالکتریک به ناهمواری سطح مورد بررسی قرار بگیرد. به منظور شبیه سازی میکرو تیر دی مسپ در نظرساخت شرکت ویکو در نظر گرفته می شود. ناهمواری سطح از نوع پله ای پاسخ زمانی میکرو تیر را در سه مد اول ارتعاشی به سطح ناصاف گرفته می شود. همانطور که مشاهده می شود با عبور پراب از روی ناصافی سطح و زیاد شدن فاصله دامنه ارتعاشی نیز افزایش پیدا می کند. از آنجایی که میکروتیر پیزوالکتریک از اینرسی جرمی بالایی برخوردار است، پاسخ آن به ناصافی سطح در مد اول به کندی انجام می شود، ولی در مدهای بالاتر که حرکت ارتعاشی با فرکانس بالاتری انجام می شود، این پاسخ سریعتر است. بنابراین در صورت استفاده از میکروتیر پیزوالکتریک در توپوگرافی سطح بهتر است از مدهای ارتعاشی بالاتر استفاده شود.

Keywords:

حرکت ارتعاشی , نیروی مویینگی , نرم افزار متلب , میکروتیرک , مدل DMT