بررسی تاثیرات بارخارجی و فشار هوا برعملکرد میز هوایی ماشینهای ابزار فوق دقیق برای استفاده در تکنولوژی ماشینکاری نانومتریک

در ساخت تجهیزات بسیار ریز و دقیق مثل میکرو روباتها، هارد دیسک های کامپیوتر، آینه های چند وجهی و تجهیزات نوری و ... احتیاج به بکارگیری تکنولوژی های نوین و دستگاه های بسیار دقیق می باشد. یکی از این دستگاه ها که برای تولید و تراش لنزهای چشمی، عدسیهای نوری و ... استفاده می شود (Ultra Precision Machine, UPM) نامیده میشود.این ماشینها دارای مکانیزمهای حرکتی بسیار دقیق هستند. اسپیندل و میز این ماشینها روی بالشتک هوا شناور میباشد. در این رساله دو مدل آزمایشی از میز این دستگاهها، طراحی و ساخته شد و آزمایشات روی این مدلها انجام گردید. بررسی بر روی دو شکل حوضچه، با سطح مقطع دایره و سطح مقطع مربع بصورت ارتباط فشار هوا و میزان بار اعمالی و افت فاصله لقی میز اندازه گیری شده و نمودارهای آن رسم گردید. مقادیر فشار بحرانی، ظرفیت تحمل بار و صلبیت در سیستم محاسبه گردید. همچنین خطاهای حرکتی میز نیز روی هر دو مدل آزمایشی مورد بررسی و تجزیه و تحلیل قرارگرفت و تاثیر پارامترهای مختلف روی آن بررسی شد.