یک ژیروسکوپ ستارهای 16 پر تشدیدی چند پوسته مبتنی بر فناوری MEMS
Publish place: 3rd International Conference on Electrical Engineering
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 362
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICELE03_277
تاریخ نمایه سازی: 18 اسفند 1397
Abstract:
در این مقاله یک ژیروسکوپ تشدیدی چند پوسته میکروالکترومکانیکی طراحی و شبیه سازی شده است. اینژیروسکوپ مبتنی بر تکنولوژی MEMS بوده و کاملا با فرآیندهای ساخت مدارهای مجتمع سازگار می باشد. ژیروسکوپ تشدیدی پیشنهادی شامل سه پوسته ستارهای 16 پر متصل به همدیگر می باشد که توسط 16 فنر نگهدارنده به یک تکیه گاه مرکزی وصل شده است. ژیروسکوپ طراحیشده از جنس پلی سیلیکون به ضخامت 40m و قطر 2.5mm در نظر گرفته شده است و دارای فرکانس تشدید 90.189kHz و حساسیت 18mV/deg/s می باشد. با اعمال سرعت زاویه ای s/˚200 به ساختار، ظرفیت خازنی در الکترودهای حسگری برابر با 1.6fF و ولتاژ خروجی برابر با 3500mV حاصل شده است. شبیه سازی ساختار ژیروسکوپ پیشنهادی توسط نرم افزار COMSOL Multiphysics انجام گرفته است.
Keywords:
Authors
سمیرا جعفری
دانشجوی کارشناسی ارشد، گروه مهندسی برق، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی، بندرعباس، ایران
فرشاد بابازاده
استادیار، دانشکده مهندسی برق، واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران