میکروسکوپ الکترونی روبشی (Scanning Electron Microscope): اصول عملکرد

تلاش بشر در به دست آوردن تکنیکی برای رویت اجسام ریز ابعاد از ابتدا با تکیه بر انرژی فوتونیبازه نور مریی استوار بود اما به دلیل محدودیت طول موج نور مریی این تلاش بشر در رویت ابعاد زیرمیکرومتر ناکام ماند و ذهن خلاق وی را بر آن گماشت تا از جهت ساخت ادوات میکروسکوپی دستبه دامان منابع انرژی پر توان تر چون منبع الکترونی شود و چاشنی ساخت میکروسکوپ های الکترونیامروزی را هر چه بیش تر شعله ور سازد.هنگامی که باریکه الکترونی به سطح نمونه تابشمی کند، بین سطح و الکترون ها برهم کنشرخ داده ونتیجه حاصله ساطع شدن پرتوهای الکترونی متفاوتی با شاخصه های اطلاعاتی گسترده ای از سطح و اجزاتشکیل دهنده نمونه می باشند. الکترون های مذکور معیاری از شناسایی و برچسب زنی سطح مواد می باشندکه توسط سیستم پیچیده آشکارسازها، تبدیل به تصویر و اطلاعات مفید دیگری در پردازنده میکروسکوپالکترونی می شوند.اصول فیزیکی تصویرسازی در میکروسکوپ های الکترونی در این گزارش مورد بررسی قرار گرفته شدهاست. به این منظور پس از توصیف بزرگنمایی و عمق روشنایی در میکروسکوپ ها، انواع الکترون هایاصلی ساطع شده از نمونه در اثر برخورد الکترون های منبع الکترونی همانند الکترون ثانویه و الکترون هایبازپراکننده مورد شناسایی قرار می گیرند.

Keywords:

میکروسکوپ الکترونی روبشی , باریکه الکترونی , لنز مغناطیسی , آشکارساز , الکترون ثانویه