طیف سنجی پراکندگی انرژی پرتو ایکس (EDS)

شناسایی فاز های موجود در ریز ساختار ماده از طریق ترکیب شیمیایی، نقش به سزایی در شناخت وتعیین فاز های مجهول ایفا می کند. طیف سنجی پراکندگی انرژی پرتو ایکس (EDS) برای تجزیه و تحلیل ساختاری و آنالیز عناصر موجود در نمونه به کار می رود و با نصب آن بر روی میکروسکوپ های الکترونیمی توان با مطالعه پرتو هاى بازگشتى از نمونه و تعیین پرتو ایکس مشخصه هر عنصر، با استفاده از قدرتتفکیک و قابلیت بزرگنمایى مختلف، آنالیز کیفى و کمى را بر روی طیف وسیعی از نمونه ها انجام داد. دراین مقاله ضمن توضیح نحوه عملکرد و معرفی بخش های مختلف سیستم های EDS، مزایا و معایب این روش به طور کامل شرح داده شده است.

Keywords:

طیف سنجی پراکندگی انرژی , پرتو ایکس (EDS) , میکرو آنالیز , آشکارساز , پرتو ایکس مشخصه , آنالیز نقطه ای