شبیهسازی فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه در حین لایهنشانی
Publish place: Iranian Physics Conference 1387
Publish Year: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,069
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC87_094
تاریخ نمایه سازی: 24 آذر 1388
Abstract:
در این مقاله فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه حین لایه نشانی شبیه سازی و با نتایج تجربی مقایسه گردیده است. به این منظور مدل آرنولد- عزیز تعمیم داده شد و بر اساس آن شبیه سازی انجام گرفت. بر اساس نتایج شبیه سازی نحوه بستگی پدیده جدانشینی سطحی حین لایه نشانی به پارامترهای مختلف شامل نرخ لایهنشانی، سد پتانسیل، دما و ضخامت لایه نشانده شده بررسی گردید. غلظت عناصر سطح در مقیاس نانومتری به صورت تجربی با طیف نگاری فوتوالکترون اشعه XPS) X)، طیفنگاری الکترون اوژه (AES)و اندازهگیری زاویه تماسی قابل ارزیابی است. مقایسه نتایج بدست آمده شبیه سازی و نتایج تجربی صحت نتایج شبیه سازی را تأیید می نماید.
Authors
رضا رسولی
دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف
محمدمهدی احدیان
پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه صنعتی شریف
اعظم ایرجی زاد
دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف-پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگ
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :