طراحی وساخت توری بازتابی قطبشگر به روش تمام نگاری

در این مقاله اثبات شده که اگرروی توری پراش فوتورزیست ساده لایه گذاری آلومینیوم صورت بگیرد، آثار قطبشگری از خود نشان می دهد . بهترین پارامترهای توری برای بهینه سازی خواص قطبشگر با ارایه نیمرخهای تجربی به نرم افزار محاسبه بهره پراش به دست می آیند. آثار قطبشگری در نتیجه نیمرخ غیر سینوسی توری به دست آمده است. نتایج نظری و تجربی ارایه شده نشان دهنده امکان عملی شدن ساخت قطعه است. برای این منظور با کاهش ضخامت لایه فوتورزیست و تغییر انرژی نوردهی و رسیدن به زیر لایه به حالت بهینه نایل شده ایم.