تعیین مشخصات پلاسمای مگنترونی با استفاده از پروب لانگمیر
Publish place: Iranian Physics Conference 1387
Publish Year: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,026
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC87_232
تاریخ نمایه سازی: 24 آذر 1388
Abstract:
پارامترهای پلاسما در تخلیه ی مگنترونی با استفاده از تکنیک تک -پروب اندازه گیری شده است. دمای الکترونی ، چگالی الکترونی در خلأ پایین و در حضور گاز آرگون مورد مطالعه قرار گرفته است . مشاهده گردید که دمای و چگالی الکترونی با کاهش فشار افزایش می یابد.
Authors
سمیه تن آرا
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
صمد سبحانیان
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
حسن بیدادی
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
سیروس خرم
پژوهشکده فیزیک کاربردی و ستاره شناسی