تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشه ای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی خواص الکتریکی آنها

در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم در ابعاد کوچک با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی، تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تأثیر چهار پارامتر مهم دمای زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی خواص الکتریکی این لایه ها مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج حاصله نشان می دهد که مقاومت الکتریکی لایه های نازک تیتانیومی با افزایش دمای زیرلایه کاهش یافته ، با افزایش فشار پایه و فشار گاز آرگن افزایش پیدا می کند. افزایش انرژی یون های فرودی نیز موجب کاهش مقاومت لایه ها می گردد .ضمناً علل تغییرات مشاهده شده درمقاومت در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن، انرژی یون های فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.