محمد ولی پور - دانشگاه فیزیک دانشگاه تبریز
صمد سبحانیان - دانشگاه فیزیک دانشگاه تبریز
محمد علی محمدی - دانشگاه فیزیک دانشگاه تبریز
علی رحمتی - دانشگاه فیزیک دانشگاه تبریز

درکار حاضر از یون های نیتروژن تولیدی در دستگاه پلاسمای کانونی سهند طی مکانیزم خاصی برای نیتریده کردن فلز تیتانیوم استفاده شده است. از روی دیاگرام های پراش پرتو ایکس نمونه های تهیه شده در تعداد شات های مختلف، به تحلیل ویژگی های ساختاری از جمله اندازه دانه ها و میکرواسترین لایه تیتانیوم نیتراید پرداخته شده است. همچنین به کمک تست سختی سنجی نوپ به ارزیابی میزان تغییرات سختی نمونه های تهیه شده در تعداد شات های مختلف پرداخته شده است.