اندازه گیری نمایه عمقی کربن به روش آنالیز برهم کنش هست های

تعیین نمایه عمقی عناصر مختلف از چالش های روش های آنالیز و مشخصه یابی است. در این پژوهش از روش های آنالیز برهم کنش هسته ای 12C(d,p)13C برای مشخصه یابی کربن و روش اندازه گیری کسشان در زاویه خراشان برای اندازه گیری نمایه عمقی هیدروژن نمونه ویفر سیلیسیم کاشت شده با گاز متان با انرژی keV 90 استفاده شده است. آنالیزها با استفاده از باریکه 2H و+ He با انرژی MeV 1-3 در محفظه بره مکنش مخصوص کانال زنی با امکان جابجایی و چرخش نمونه نیز امکان چرخش آشکارساز انجام گرفته است. داده های اندازه گیری شده حساسیت زیاد روش آنالیز با باریکه یونی را برای مشخصه یابی نمونه های نظیر به نمایش می گذارد.