کنترل ولتاژ پولین میکرورزوناتورهای الکترواستاتیکی با الاستومرهای دی الکتریک

هدف این مقاله بررسی تاثیر استفاده از الاستومرهای دی الکتریک برای کنترل محدوده پایداری میکروتیرهای الکترواستاتیکی می باشد. در این میکروساختارها پدیده ناپایداری پولین یک پدیده بسیار مهم و حیاتی برای طراحی می باشد. مدل پیشنهادی این مقاله یک میکروتیر دوسرگیردار از جنس الاستومر می باشد که بطور موازی با الکترود ثابتی قرار گرفته و با اعمال میدان الکترواستاتیکی، آن دو تشکیل یک ساختار خازنی را می دهند. پس از ارائه معادلات حاکم بر رفتار مکانیکی سیستم، از روش کاهش مرتبه مبتنی بر گالرکین برای حل آنها استفاده شده است. نتایج حاصل از حل این معادلات نشان داده اند که با تغییر پیش تنش اعمالی بر الاستومر، ضریب دی الکتریک ماده الاستومر و ولتاژ اعمالی بر ماده الاستومر در کنار مشخصات هندسی سیستم می توان ولتاژ ناپایداری یا پولین ساختار خازنی را تغییر داده و به حد مطلوب رساند.

Keywords:

سیستم های میکروالکترومکانیکی , ناپایداری پولین , الاستومرهای دی الکتریک