طراحی و تحلیل حسگر فشار خازنی لمسی جدید MEMS با دیافراگم موجدار
Publish place: Fifth International Conference on Quality Research in Electrical and Mechatronics Electrical Engineering
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 481
This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ELEMECHCONF05_203
تاریخ نمایه سازی: 21 خرداد 1398
Abstract:
این مقاله برروی طراحی یک حسگر فشار خازنی لمسی میکروالکترومکانیکی جدید با دیافراگم موجدار مورد استفاده در سیستم کنترل فشار تایر خودرو متمرکز شده است. یکی از پارامترهای مهم در حسگرهای فشار خازنی لمسی، فشار نقطه لمس می باشد که بموجب کم بودن آن، حسگر زودتر به ناحیه کاری وارد می شود. هدف این مقاله افزایش بازه کاری با کاهش فشار نقطه لمس می باشد که این کار با ایجاد موج در لبه های دیافراگم صورت گرفته است. زیرا ساختار دیافراگم در تعیین عملکرد حسگر نقش مهمی دارد. لذا ساختار دو حسگر فشار خازنی لمسی با دیافراگم های مسطح و موجدار مورد بررسی قرار گرفته که نتایج نشان می دهد در حسگر با دیافراگم موجدار، استرس پسماند کاهش و جابجایی افزایش یافته است. بنابراین در طرح پیشنهادی بازه کاری از مقدار psi؛ 90-30 در حسگر با دیافراگم مسطح به psi؛ 130-12 رسیده است و همچنین میزان غیر خطی بودن از 7/448 به 2/1% در حسگر جدید کاهش یافته است.
Keywords:
حسگر فشار خازنی لمسی , دیافراگم موجدار , سیستم کنترل فشار تایر , فشار نقطه لمس , بازه کاری , استرس پسماند , غیرخطی
Authors
زهره غم انگیز خرارودی
گروه الکترونیک، دانشکده برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی، بابل، ایران
بهرام عزیزاله گنجی
دانشیار گروه الکترونیک، دانشگاه صنعتی نوشیروانی، بابل، ایران
مرتضی قلی پور
استادیار گروه الکترونیک، دانشگاه صنعتی نوشیروانی، بابل، ایران
صدیقه صداقت بابائی
گروه الکترونیک، دانشکده برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی، بابل، ایران