تاثیر پلاسما دهی اکسیژن بر ویژگی های ساختاری، مورفولوژیکی و اپتیکی لایه های نازک اکسید نیکل
Publish place: 19th National Conference on Engineering Level
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 510
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE19_007
تاریخ نمایه سازی: 27 تیر 1398
Abstract:
در این تحقیق، لایه های نازک نیکل در شرایط یکسان با روش کندوپاش مگنترونی DC بر زیرلایه های کوارتز لایه نشانی شد و سپس لایه های تهیه شده تحت اکسیژن دهی پلاسمایی در زمان هایمختلف قرارگرفت. در نهایت درکوره حرارتی در دمای ثابت 600°C بازپخت شد. تاثیر اکسیژن دهیپلاسمایی بر ساختارکریستالی، مورفولوژی سطح و طیف عبوری از نمونه ها به وسیله آنالیزهای پراش پرتوایکس (XRD) میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و اسپکتروفتومتری بررسی شدند. نتایج بیانگر آن است که ساختار کریستالی و مورفولوژی سطح به شدت تحت تاثیر زمان اکسیژن دهی پلاسمایی است. همچنین با افزایش زمان اکسیژن دهی پلاسمایی، میزان عبور نورازلایه ها نیز کاهش یافته است.
Keywords:
Authors
سمیه رشوند
گروه فیزیک، واحد کرج، دانشگاه آزاد اسلامی، کرج، ایران (کارشناسی ارشد فیزیک)
فاطمه حاج اکبری
گروه فیزیک، واحد کرج، دانشگاه آزاد اسلامی، کرج، ایران (استادیار)
علیرضا هژیری
گروه فیزیک، واحد کرج، دانشگاه آزاد اسلامی، کرج، ایران (استاد)