تاثیر دمای حرارت دهی گرانول منیزیم فلوراید بر مورفولوژی سطح فیلم نازک منیزیم فلوراید

Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 484

This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ISSE19_062

تاریخ نمایه سازی: 27 تیر 1398

Abstract:

در این مطالعه تاثیر دمای حرارت دهی کرانول منیزیم فلوراید بر مورفولوژی سطح و عبور فیلم نازک منیزیم فلوراید مورد بررسی قرار گرفته است. بدین منظور ابتدا گرانول منیزیم فلورائید تحت شرایط اتمسفر، در دما و زمان های متفاوت حرارت دهی شد. سپس منیزیم فلوراید حرارت دیده به روش تبخیر حرارتی در دمای 300˚C بر زیرلایه شیشه ای لایه نشانی شد. نتایج پراش اشعه ایکس از گرانول ها یحرارت دیده، نشان می دهد که در ساختار منیزیم فلوراید آثاری از منیزیم اکسید ظاهر شده است. کیفیت و زبری سطح فیلم ها توسط میکروسکوپ نیروی اتمی و مورفولوژی سطح توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی کسیل میدانی بررسی شد. نتایج نشان می دهد که حرارت دهی گرانول منیزیم فلوراید قبل از لایه نشانی تاثیر بسزایی در کیفیت سطح فیلم ها داشته است. آنالیز تصاویر گرفته شده از میکروسکوپ نیروی اتمی نشان می دهد که افزایش دمای عملیات حرارتی گرانول منیزیم فلوراید، باعث کاهش زبری سطح فیلم های تولید شده از این مواد می شود.

Authors

عرفان کدیور

گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی شیراز، استادیار گروه فیزیک

زهرا مظفری

گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی شیراز، دانشجوی کارشناسی ارشد