آرام قادری
مریم فریور

رسوب شیمایی بخار و رسوب فیزیکی بخار روش های کاربردی در کلیه علوم هستند که با توجه به گسترش فناوریها و مخصوصا صنایع الکترونیک و مدارهای مجتمع، به کارگیری این روش های بخار به صورت فراوان در ساخت قطعات نیمه های می باشد. در این گزارش به صورت مختصر به رسوب شیمیایی بخار پرداخته شده است.

رسوب شیمیایی بخار، رسوب فیزیکی بخار، PVD ، CVD