CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

modeling and control of atomic force microscope cantilever beam, using piezoelectric

عنوان مقاله: modeling and control of atomic force microscope cantilever beam, using piezoelectric
شناسه ملی مقاله: ISME17_293
منتشر شده در هفدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک در سال 1388
مشخصات نویسندگان مقاله:

ardeshir karami mohammadi - assistant professor
reza kazemi esfeh - M.Sc student

خلاصه مقاله:
Atomic force microscope (AFM) is one of the most important probe scanning microscopes applied for high resolution images from surface and pushing of nano particles.

کلمات کلیدی:
atomic force microscope, active control the vibration, piezoelectric material , finite element.

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/90455/