CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

بررسی حساسیت پیچشی میکروتیر میکروسکوپ نیروی اتمی همراه با پروب اسمبل شده جهت اسکن دیوارهای جانبی

عنوان مقاله: بررسی حساسیت پیچشی میکروتیر میکروسکوپ نیروی اتمی همراه با پروب اسمبل شده جهت اسکن دیوارهای جانبی
شناسه ملی مقاله: ISME17_636
منتشر شده در هفدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک در سال 1388
مشخصات نویسندگان مقاله:

محمدتقی احمدیان - استاد دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی شریف
محمدحسین کهربائیان - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک

خلاصه مقاله:
دراین مقاله فرکانس تشدید پیچشی همچنین حساسیت پیچشی میکروتیرنوع جدیدی از میکروسکوپ های نیروی اتمی همراه با پروب اسمبل شده عمودی جهت اسکن دیواره های جانبی و لبه ها، مورد بررسی قرار گرفته و اثر سختی تماسی بین سطح مورد بررسی و نوک میکروسکوپ نیروی اتمی همچنین تاثیر نسبت طول پروب عمودی به طول میکروتیر افقی و جرم نوک این نوع جدید از میکروسکوپ های نیروی اتمی برروی فرکانس تشدید و حساسیت پیچشی میکروتیر افقی مورد مطالعه قرار گرفته و در پایان صحت مدل بررسی شده است.

کلمات کلیدی:
میکروسکوپ نیروی اتمی، حساسیت پیچشی، اسکن دیوارهای جانبی

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/90797/