علیرضا فدایی تهرانی - استادیار دانشکده مکانیک دانشگاه صنعتی اصفهان
نیما نوری - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک
محمدرضا یاریان - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مکانیک
محمدجواد زرکوب - استادیار دانشکده مکانیک

برای ساختن ترانزیستورها و مدارهای مجتمع (IC) و قطعاتی در ابعاد میکرو و نانو از تکنولوژی ماشین کاری شیمیایی دقیق استفاده می شود. در روش ماشین کاری شیمیایی از شابلون و در روش فتوشیمایی از فیلم نگاتیو برای تصویر کردن تصویر طرح برروی سطح قطعه استفاده می شود.

میکرو، نانوماشینکاری، فتوشیمایی، اپتیک