هادی جلیلی - کارشناسی ارشد پژوهشکده مهندسی جهاد
سلمان بهرامی - کارشناس پژوهشکده توسعه تکنولوژی

دراین مقاله اندازه گیری قطر داخلی استوانه با استفاده از ترکیب یک عملگر میکرو - پمپی و یک میکرو - سنسور فشار به عنوان یک سنجه اندازه گیری مورد بررسی قرار گرفته است. با توجه به کوچکی ابعاد سنسور ویژگی های تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکال راه گشا می باشد و امکان سخت و نصب سنسور فشار و تجهیزات ایجاد جریان سیال را فراهم می نماید.

میکرو - پمپ، سنجه داخل سنج قطر، اندازه گیری ابعادی، سیستم های میکروالکترومکانیکال