کاربرد میکرو سنسور خازنی در ابزار اندازه گیری ابعادی و بررسی تاثیر پارامترهای طراحی میکرو - سنسور خازنی روی عملکرد آن

Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 4,000

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ISME17_778

تاریخ نمایه سازی: 20 فروردین 1389

Abstract:

دراین مقاله طرح جدیدی برای اندازه گیری قطر داخلی استوانه با استفاده از میکرو سنسور اندازه گیری جابجایی از نوع خازنی ارائه شده است این سنسور با روش میکروماشینکاری قابل تولید میباشد.

Keywords:

میکرو - سنسور خازنی , سنجه اندازه گیری ابعادی , سیستم های میکروالکترومکانیکال

Authors

هادی جلیلی

کارشناس ارشد پژوهشکده توسعه تکنولوژی گروه پژوهشی مکانیک

حمیدرضا دهدشتیان

دانشجوی کارشناسی ارشد

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • - David S. Nyce, "Linear Position Sensor, Theory and Application", ...
  • - Mark N. Horenstein, Julie A. Perreault, and Thomas G. ...
  • - Nicolae Lobontiu, Ephrahim Garcia, "Mechanics of M icro _ ...
  • - Ching Liang, _ capacitive humidity sensor integrated with micro ...
  • - Jiro Kuroki, Tadahiko Shinshi, Lichuan Li and Akira Shimokohbe, ...
  • - Oliver Berberig, Kay Nottmeyer, Jim Mizuno, Yoshitaka Kanai and ...
  • of Sensors and Actuators A, Physical, Volume 80, Issue 1, ...
  • - Qiang Wang and Wen H. Ko, "Si-to-Si fusion bonded ...
  • D. Goustouridis, D. Tsoukalas, P. Normand, A. G. Kontos, Y. ...
  • Suwas K. Nikumb, "Metallic micro displacement capacitive sensor fabricated by ...
  • , Number 8 / July, 2006, Springer Berlin / Heidelberg. ...
  • نمایش کامل مراجع