بهبود عملکرد میکرو - سنسور خازنی اندازه گیری جابجایی با تصحیح تکیه گاهها
Publish place: 17th Annual Conference of Mechanical Engineering
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,363
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISME17_841
تاریخ نمایه سازی: 20 فروردین 1389
Abstract:
دراین مقاله چند طرح جهت استفاده به عنوان تکیه گاه برای میکروسنسور خازنی اندازه گیری جابجایی خطی ارائه شده است. در این مقاله میزان تاثیر پارامترهای هندسی صفحه خازنی و ابعاد و شکل تکیه گاهها و نیز تقارن یا عدم تقارن تکیه گاهها برروی پارامترهای عملکردی و سازه ای سنسور از قبیل خطای غیرخطی بودن تنش ایجاد شده و راحتی در ساخت مورد بررسی قرار گرفته است.
Keywords:
میکرو - سنسورخازنی , ابزار اندازه گیری ابعادی , سیستم های میکروالکترومکانیکال , شبیه سازی , تکیه گاه
Authors
حمیدرضا دهدشتیان
دانشجوی کارشناسی ارشد پژوهشکده توسعه تکنولوژی جهاد دانشگاهی صنعتی شریف
هادی جلیلی
کارشناس ارشد پژوهشکده تکنولوژی تولید جهاد دانشگاهی
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :