بررسی اثر تحریک الکترواستاتیک بر رفتار الکترومکانیکی میکرو حسگرهای فشار خازنی

Publish Year: 1398
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 450

This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

JR_JSFM-9-2_010

تاریخ نمایه سازی: 2 مهر 1398

Abstract:

هدف از این پژوهش، بررسی رفتار الکترومکانیکی میکرو حسگر های فشار خازنی و بررسی اثر اعمال تحریک الکترواستاتیک بر عملکرد و دقت این سیستم ها می باشد. حسگر به صورت یک صفحه دایرهای انعطاف پذیر در نظر گرفته شده است که یک فاصله اولیه از یک صفحه صلب دارد و بین آن دو خلاء است. در اثر فشار محیط و همچنین اعمال ولتاژ بین دو صفحه، ورق انعطاف پذیر خیز برداشته و به پایه ثابت نزدیک می گردد. با نزدیک شدن صفحه به پایه، ظرفیت خازنی بین آنها تغییر می کند که این تغییر وابسته به خیز صفحه انعطاف پذیر و یا به عبارتی وابسته به فشار محیط است. بنابراین در صورت معلوم بودن رابطه میان فشار و ظرفیت خازنی، می توان با اندازه گیری ظرفیت خازنی فشار محیط را محاسبه نمود. از این رو در کار حاضر، رابطه میان ظرفیت خازنی و فشار خارجی مطالعه گردیده است. در این راستا، نخست معادله حاکم بر خیز میکرو ورق تحت بار الکترواستاتیک و همچنین فشار خارجی استخراج شده است. این معادله با استفاده از روش گلرکین به یک معادله جبری تبدیل شده و با بکارگیری یک روش مبتنی بر تکرار حل شده است. در بخش نتایج، اثر پارامترهای مختلف مانند ولتاژ اعمالی و همچنین فشار محیط بر روی ظرفیت خازنی و حساسیت دستگاه مطالعه شده و همگرایی و دقت الگوریتم مبتنی بر تکرار نیز بررسی شده است.

Authors

مسعود رهایی فرد

استادیار گروه مهندسی مکانیک، دانشکده فنی و مهندسی گلپایگان

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • قادری ش، طهماسبی پور م، عباسپور ثانی ا، مدرس م ...
  • مجاهدی م، بینا ر (1397) بررسی ناپایداری و رفتار ارتعاشی ...
  • سماعی فر ف، عفیفی ا، عبداللهی ح (1395) طراحی و ...
  • موسی پور م، حاج عباسی م ع (1395) تحلیل اثر ...
  • اندخشیده ع، مالکی س، مرعشی س ص (1397) بررسی پدیده ...
  • ویسی گرگ آباد ا، رضازاده  ق، شعبانی ر (1396) بررسی ...
  • عطار ع، طهماسبی پور م، دهقان م (1397) بررسی تاثیر ...
  • عبداللهی ح، سمائی فر ف، حق نگهدار ا (2015) بررسی ...
  • Sateesh J, Sravani KG, Kumar ‎RA, Guha K, Rao KS ...
  • Wood GS, Zhao C, Pu SH, Boden SA, ‎Sari I, ...
  • GHorbanpour Arani A, Soleimani Jafari G, Kolahchi R (2018) Vibration ...
  • Lee C-Y, Chang H-T, Wen C-Y (2008) A MEMS-based valveless ...
  • Ghorbanpour Arani A, Mosayyebi M, Kolahdouzan F, Kolahchi R, Jamali ...
  • Rahimipour H, Ghorbanpour Arani A, Sheikhzadeh G (2014) Nonlocal vibration ...
  • Ge Y, Cai K, Wang T, Zhang J ‎‎(2018) MEMS ...
  • Liang B, Chen W, He Z, Yang R, Lin ‎Z, ...
  • Mohan A, Malshe AP, ‎Aravamudhan S, Bhansali S ‎‎(2004) Piezoresistive ...
  • Jang M, Yun K-S (2017) MEMS ‎capacitive pressure sensor ‎monolithically ...
  • Banerji S, Michalik P, ‎Fernández D, Madrenas J, Mola A, ...
  • Zhang Y, Howver R, Gogoi B, ‎Yazdi N (2011) A ...
  • Marsi N, Majlis BY, Hamzah AA, ‎Mohd-Yasin F (2015) ‎Development ...
  • Lin W-C , Cheng C-L, Wu C-L, Fang ‎W (2017) ...
  • [23] Shettar V, Kotin SB, ‎Kirankumar B, Sheeparamatti B ‎Simulation ...
  • [24] Munas F, Amarasinghe Y, ‎Kumarage P, Dao D, Dau ...
  • [25] Banerji S, Fernández D, ‎Madrenas J (2017) ‎Characterization of ...
  • [26] Hasan MH, Alsaleem FM, Ouakad ‎HM (2018) Novel threshold ...
  • [27] Yu L, Kim BJ, Meng E (2014) ‎Chronically implanted ...
  • [28] Xue N, Chang S-P, Lee J-B (2012) A ‎SU-8-based ...
  • [29] Reddy JN (2006) Theory and ‎analysis of elastic plates ...
  • [30] Timoshenko SP, Woinowsky-‎Krieger S (1959) Theory of ‎plates and ...
  • [31] Lai WM, Rubin DH, Rubin D, ‎Krempl E (2009) ...
  • [32] Reddy JN (2013) An introduction ‎to continuum mechanics. ‎Cambridge ...
  • [33] Talebian S, Rezazadeh G, ‎Fathalilou M, Toosi B (2010) ...
  • [34] Rao SS (2007) Vibration of ‎continuous systems. John Wiley ...
  • [35] Nishiyama H, Nakamura M (1994) ‎Form and capacitance of ...
  • Ahmad B, Pratap R (2010) Elasto-electrostatic analysis of circular microplates ...
  • نمایش کامل مراجع