ناپایداری دینامیکی میکرو و نانو غشاها تحت اثر تحریک الکترواستاتیک و میرایی لایه فشرده سیال

در این پژوهش رفتار دینامیکی و ناپایداری کششی سیستم های میکرو و نانو الکترومکانیکی (MEMS) با در نظر گرفتن میرایی لایه فشرده سیال و اثر نیروی کازمیر مورد بحث و بررسی قرار می گیرد. با فرض آنکه ضخامت صفحه انعطاف پذیر سیستم مورد نظر نسبت به طول آن کمتر از 1 / 400 باشد، از تئوری غشای الاستیک خطی جهت تحلیل رفتار دینامیکی سیستم و بررسی ناپایداری آن استفاده شده است. با توجه به تاثیر قابل توجه میرایی لایه فشرده سیال و نیروی کازمیر در ابعاد نانو، تاثیر این دو پدیده نیز بر رفتار دینامیکی سیستم بررسی شده است. معادلات مربوطه ابتدا بی بعد شده، سپس با استفاده از روش اجزا محدود حل شده است. ابتدا ناپایداری استاتیکی سیستم تحلیل و نتایج حاصل از تحلیل استاتیکی با نتایج تحقیقات گذشته اعتبار سنجی می شود. سپس تحلیل دینامیکی سیستم مورد بحث قرار می گیرد. نتایج حاکی از تاثیر قابل توجه نیروی کازمیر و میرایی لایه فشرده سیال بر ناپایداری و رفتار دینامیکی سیستم است.