Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings
Login |Register |Help |عضویت کتابخانه ها
Paper
Title

طراحی، ساخت و بهینه سازی پارامترهای سنسور فشار مبتنی بر لایه نازکPZT

Year: 1389
COI: ISME18_421
Language: PersianView: 1,206
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download

Buy and Download

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این Paper را که دارای 8 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

Authors

وحید محمدی - هیات علمی گروه برق دانشگاه آزاد اسلامی واحد قشم
سعیده محمدی - بخش مکانیک دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد

Abstract:

در این مقاله مراحل طراحی، شبیه سازی، ساخت و تست سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT نشان داده شده است در ابتدا دیافراگمی بصورت چندلایه متشکل از لایه های Pt/Ti/PZT/PT/Ti/SiO2 توسط نرم افزار اجزای محدود ANSYS FE طراحی و شبیه سازی شده است. سپس مشخصات دینامیکی دیافراگم چند لایه مورد بررسی قرار گرفته و برای عملکرد مطلوب ترسنسور، بهینه شده است

Keywords:

Paper COI Code

This Paper COI Code is ISME18_421. Also You can use the following address to link to this article. This link is permanent and is used as an article registration confirmation in the Civilica reference:

https://civilica.com/doc/95896/

How to Cite to This Paper:

If you want to refer to this Paper in your research work, you can simply use the following phrase in the resources section:
محمدی، وحید و محمدی، سعیده،1389،طراحی، ساخت و بهینه سازی پارامترهای سنسور فشار مبتنی بر لایه نازکPZT،18th Annual Conference of Mechanical Engineering،Tehran،https://civilica.com/doc/95896

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :

  • ترکیان، شهاب، برزگر، عبدالغفار، محمدی، وحید، شیخی، محمد حسین، 1388، ...
  • 21 اردیبهشت ISME2010، 1389 ...
  • 21 اردیبهشت ISME2010، 1389 ...
  • 21 اردیبهشت ISME2010، 1389 ...
  • M. A. Dubois, P. Muralt, 1998, _ thin film actuated ...
  • M. Koch, N. Harris, A. Evans, N.M. White, A. novel ...
  • K. Kunz, P. Enoksson, G. Stemme, 2001 "Highly sensitive triaxial ...
  • J. Mandle, O. Lefort, A. Migeon, 1995, :A new micromachined ...
  • M. J. Mescher, M. L. Vladimer, J. J. Bernstein, piezoelectric ...
  • Mechanical Systems 2002, Las Vegas, USA, 20-24 January 2002, pp. ...
  • P. Muralt, et al., 2001, :Piezoelectro thin films for MEMS", ...
  • Shuo Hung Chang, Yi Chung Tung, july 1999, _ FElectro-Elastc ...
  • transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, vol. 46, no. ...
  • Vahid Mohammadi, M. H. Sheikhi, 2009, "Design, Modeling and Optimization ...
  • Vahid Mohammadi, M. H. Sheikhi, Sh. Torkian, A. Barzegar, E. ...

Research Info Management

Certificate | Report | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این Paper را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

Scientometrics

The specifications of the publisher center of this Paper are as follows:
Type of center: Azad University
Paper count: 1,764
In the scientometrics section of CIVILICA, you can see the scientific ranking of the Iranian academic and research centers based on the statistics of indexed articles.

مقالات پیشنهادی مرتبط


مقالات فوق بر اساس داده کاوی مقالات مطالعه شده توسط پژوهشگران محاسبه شده است.

New Papers

New Researchs

Share this page

More information about COI

COI stands for "CIVILICA Object Identifier". COI is the unique code assigned to articles of Iranian conferences and journals when indexing on the CIVILICA citation database.

The COI is the national code of documents indexed in CIVILICA and is a unique and permanent code. it can always be cited and tracked and assumed as registration confirmation ID.

Support