طراحی، ساخت و بهینه سازی پارامترهای سنسور فشار مبتنی بر لایه نازکPZT
Publish place: 18th Annual Conference of Mechanical Engineering
Publish Year: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,381
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISME18_421
تاریخ نمایه سازی: 1 تیر 1389
Abstract:
در این مقاله مراحل طراحی، شبیه سازی، ساخت و تست سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT نشان داده شده است در ابتدا دیافراگمی بصورت چندلایه متشکل از لایه های Pt/Ti/PZT/PT/Ti/SiO2 توسط نرم افزار اجزای محدود ANSYS FE طراحی و شبیه سازی شده است. سپس مشخصات دینامیکی دیافراگم چند لایه مورد بررسی قرار گرفته و برای عملکرد مطلوب ترسنسور، بهینه شده است
Keywords:
Authors
وحید محمدی
هیات علمی گروه برق دانشگاه آزاد اسلامی واحد قشم
سعیده محمدی
بخش مکانیک دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :