ساختار مکانیکی نوین آشکارساز زاویه با فناوری میکروماشینکاری توده ای

Publish Year: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 991

This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ISME18_422

تاریخ نمایه سازی: 1 تیر 1389

Abstract:

میکرو حسگر های غیر تماسی اندازه گیری زاویه می تواند زاویه بین قسمت دوار و قسمت ثابت را به صورت یک سیگنال الکتریکی خروجی، متناسب با زاویه بین دو قسمت، آشکار سازی کند. حسگر اندازه گیری زاویه غیر تماسی در این تحقیق بر اساس اصول کارکرد و ساخت حسگر های میکروالکترومکانیکیMEMS خازنی برای آشکارسازی بهره می برند، طراحی و مدلسازی شدهاست. ج هت امکان سنجی ساخت این طرح جدید میکروحسگر، بخش اصلی آن که ساختار متحرک مکانیکی آن می باشد نیز طراحی و پس از چندین مرحله نمونه سازی آزمایشی و اصلاح طرح، در داخل کشور ساخته شده است

Keywords:

میکروحسگر , سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS تیر خمشی , نیروی لورنس , میکروماشینکاری توده ای

Authors

نیما سیاف

کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

فرشاد برازنده

استادیار دانشکده مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

محمدرضا رازفر

دانشیار دانشکده مکانیک

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • 21 اردیبهشت ISME2010، 1389 ...
  • C. Schott, R. Racz, S. Huber., 2006. "Novel analog magnetic ...
  • J. Caruso , Dr.Carl H. Smith , Tamara Bratland _ ...
  • WWW. S SEC _ H ONEYWELL .COM. ...
  • SIEMENSE C ORPORATE TEC." GMR Sensors for Contactless Position Detection". ...
  • HTTP : _ _ S SEC _ H ONEYWELL _ ...
  • ROBERT BOSCH GBMT, 1999 "Magnetic Sensor for Automotive Application" ...
  • Stephen Beeby, 2004, MEMS ME CHANICAL SENSORS . ...
  • Marc J. Madou, 2002, F UNDA MENTA L OF SCIENCE ...
  • Springer Handbook of NANO Technology Bhushan Edlitor. ...
  • نمایش کامل مراجع