مطالعه ی ساختاری لایه های نیترید مولیبدن انباشتی برروی سیلیکان

در این تحقیق لایه های نیترید مولیبدن با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی DC برروی زیرلایه های سیلیکان انباشت شده اند. با استفاده از آنالیزهای مختلف مانند XRD و AFM تاثیر میزان نیتروژن در مخلوط گاز آرگون- نیتروژن برروی خواص ساختاری و مورفولوژی سطح لایه ها بررسی شده است. نتایج آنالیز XRD بیانگر آنست که با افزایش میزان نیتروژن در مخلوط گاز ساختار لایه از حالت بلوری به آمورف تغییر کرده است. آنالیز AFM نیز نشان می دهد که مورفولوژی سطح لایه ها شدیدا تحت تاثیر میزان گاز نیتروژن قرار گرفته است.