ررسی پلاسمای آرگون - نیتروژن در لایه نشانی پوشش های تانتالوم نیتراید تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی DC

مجموعه ای از لایه های تانتالوم نیتراید در نسبت های مختلف نیتروژن موجود در پلاسمای کندوپاش لایه نشانی شدند. بررسی های حاصل از طیف سنجی تابش اپتیکی تخلیه ی نورانی، از پلاسمای مخلوط آرگون و نیتروژن در درصدهای مختلف نیتروژن موجود در محفظه لایه نشانی، نشان می دهند که با افزایش درصد نیتروژن، یونیزاسیون نسبی آرگون و تفکیک نسبی نیتروژن افزایش می یابد درحالیکه یونیزاسیون نسبی نیتروژن کاهش می یابد. نتایج پراش پرتو ایکس از لایه های ایجاد شده در نسبت های گازی نیتروژن % 10 و %20 نشان دادند که در نسبت گازی نیتروژن %10 ساختار غیر استوکیومتری Ta6N2.57 هگزاگونال تشکیل می شود درحالیکه در نسبت گازی نیتروژن%20، ساختار استوکیومتری TaN مکعبی تشکیل می شود. نتایج حاصل از بررسی ضخامت نشان دادند که ضخامت لایه ها با افزایش میزان نیتروژن کاهش می یابد. نتایج حاصل از سختی سنجی نیز نشان دادند که در نسبت گازی نیتروژن %10 سختی لایه بیشینه است.