ساخت حسگرفشارگسیل میدانی براساس گرافن

در این مقاله، برای اولین بار، طراحی وساخت یک حسگر فشار گسیل میدانی براساس غشای گرافنی گزارش می شود. ساختار ارائه شده قادر به تشخیص مقداروجهت فشاراعمالی با حساسیت بالاست. غشای گرافن چند لایه با توجه به ضخامت کم، انعطاف پذیری بالا و استحکام مکانیکی بالا بعنوان آند و عنصر حساس به فشار مورد استفاده قرار گرفته است. همچنین با توجه به ولتاژ آستانه پایین و چگالی جریان بالا و پایداری الکتریکی بالایی که نانولوله های کربنی در کاریردهای گسیل میدانی دارند، از نانولوله های کربنی چند دیواره بعنوان کاتد استفاده شده است. در ساختار ارائه شده نانولوله های کربنی داخل حفره های میکرومتری که از زدایش غیر همسانگرد بستر سیلیکونی حاصل شده است، رشد داده می شود؛ بطوریکه کاملا در احاطه حفره سیلیکونی قرار می گیرد. تصاویر میکروسکوپ الکترونی قرار گرفتن صفحات گرافنی بروی حفرات میکرومتری را تایید می کند. اندازه گیریهای انجام شده حساسیت بالایی در حدود 1100%را به ازای ولتاژ اعمالی 10 ولت و فشار اعمالی حدود 1 اتمسفر نشان می دهند