از جمله مزایای ورکتورهایMEMS پتانسیل عملکرد با ضریب کیفیت بالاست ( ١٠٠ تا ٤٠٠ ) مخصوصا در فرکانس امواج میلی مترای و طراحی برای مقابله با نوسان زیاد ولتاژ RF و بنابراین شبکه های قابل تنظیمIIP3 خیلی بالا ایجاد می شود از طرفی ورکتور MEMS نمی تواند بایاس مستقیم شود و بنابراین تحت با توان بالا جریانی را عبور نمی دهد. همچنین ورکتورهای MEMS نیاز به بسته بندی وpackaging خاصی ندارند و می توانند برای مدت طولانی مخصوصا برای زیر ٥ گیگا هرتز عملکرد عالی داشته باشند کاربردعمده ورکتورهایMEMS در فیلترها و شبکه های قابل تنظیم3 گیگا هرتز تا ٦٠ گیگا هرتز کم هزینه می باشد.سه نوع تکنولوژی ساخت مختلف خازن های متغیر(ورکتورهای MEMS متداول عبارتند از : الف)طراحی عمودی ب)طراحی افقی ج)ساخت بانک خازنی فیکس شده و با استفاده از سوئیچ های MEMS برای انتخاب خازن کلی مورد نیاز