ساخت حسگر گاز مبتنی بر ساختار فلز- عایق- فلز

یکی از ساختارهایی که امروزه جهت ساخت حسگرگاز مورد استفاده قرار میگیرد ساختار خازنی فلز-عایق- فلز (MIM1) میباشد. بر همین مبنا، روشهای تولید نانوساختارهای خود نظمیافته با آرایه ی متناوب، مورد توجه قرار گرفته اند. یکی از روشها، فرایند آندایز میباشد که این فرایند منجر به تشکیل لایه اکسید متخلخل آرایه ی منظمی از نانوحفره ها می گردد. در این روش لایه زیرین فلزآلومینیوم و سطح روی آن آلومینا به عنوان عایق و سطح روی آن با استفاده از خمیرگرافیت یا چسب نقره، فلز درنظر گرفته شده است. در مرحله ای دیگر با استفاده از روش drop cast و با استفاده از پودرآلومینا به نسبت مناسب بر روی سطح آلومینیوم لایه ی عایق ایجاد میشود که به همین منظور از خاصیت خازنی آن نیز در تست گاز استفاده شده است.که خاصیت خازنی آن با استفاده از یک مدار نوسانساز اندازه گیری میشود.