بررسی اثر آنیل حرارتی روی خواص شیمیایی و اپتیکی لایه های نازک کربن شبه الماسی
Publish Year: 1400
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 216
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJSSE-17-47_003
تاریخ نمایه سازی: 8 دی 1400
Abstract:
چکیده- در این تحقیق لایه های کربن شبه الماسی روی زیرلایه های سیلیکونی به روش بیم یونی و به کمک گازهای پروپان و آرگون لایه نشانی شدند. سپس اثرات آنیل حرارتی (در محدوده دمایی ۲۰۰ تا ۵۰۰ درجه سانتی گراد) روی خواص شیمیایی و اپتیکی لایه های نازک کربن شبه الماسی ارزیابی شد. ساختار، مورفولوژی و پیوندهای شیمیایی لایه ها به ترتیب با روش های طیف سنجی رامان، میکروسکوپی الکترونی روبشی گسیل میدانی و طیف سنجی تبدیل فوریه مادن قرمز مورد آنالیز قرار گرفت. نتایج آنالیز رامان اثبات کرد که آنیل حرارتی سبب تغییر شبکه های زنجیره ای به حلقه های آروماتیک می شود. بر اساس نتایج میکروسکوپی الکترونی روبشی گسیل میدانی ترک های میکرو در لایه آنیل شده با دمای ۲۰۰ درجه سانتی گراد تشکیل شد. همچنین نتایج آنالیز طیف سنجی تبدیل فوریه مادن قرمز نشان داد که با افزایش دمای آنیل، عبور لایه های کربن شبه الماسی در محدوده طول موجی ۵-۳ میکرومتر کاهش می یابد. علاوه بر این نتایج نشان داد که تجزیه لایه های کربن شبه الماسی از دمای ۳۰۰ درجه سانتی گراد آغاز می شود و همچنین افزایش دمای آنیل تا ۵۰۰ درجه سانتی گراد باعث اکسایش بخش عمده ای از لایه شد.
Keywords:
Authors
عباسعلی آقائی
دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه مالک اشتر، اصفهان
سجاد عالی پور
دانشکده مواد،دانشگاه مالک اشتر اصفهان
اکبر اسحاقی
دانشکده مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر اصفهان
فاطمه سوسنی
دانشگاه صنعتی مالک اشتر اصفهان، دانشکده مهندسی مواد
حسین زابلیان
دانشگاه صنعتی مالک اشتر اصفهان، دانشکده مهندسی مواد
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :