تاثیر لایه نشانی بر روی میکروآینه ها با در نظرگرفتن خاصیت الکترواستاتیکی

میکروآینه های دیجیتال،فناوری پرکاربرد در زمینه های مختلف پژوهشی و علمی از پزشکی تا علوم مهندسی دارد. ما دراین پژوهش به منظور بررسی انعطاف میکروآینه های دیجیتالی چندین ولتاژ متفاوت را مورد بررسی قرار داده ایم.دراین پژوهش با استفاده از شبیه سازی با نرم افزار کامسول واعمال ولتاژهای مختلف ،میزان جابه جایی در راستای محور Z در زمانی که اکسید سیلیکون بر روی الکترود هایی که ولتاژ به آن اعمال میشود بیشتر از حالتی است که بدون الیه نشانی الکترود میکرو آینه منحرف میشود میباشد

Keywords:

میکرو آینه , الکترواستاتیک , الکترود , دستک