طراحی میکرو آینه برای کاربرد در اپتیک تطبیقی

میکروآینه های دیجیتال (به انگلیسی: Digital micromirror device ) یا DMD سیستم های اپتو-الکترو-مکانیکالی MOEMS هستند کههسته فناوری پردازش نور دیجیتال را تشکیل می دهند. DMD های شرکت تگزاس اینسترومنت توسط یکی فیزی کدانان این شرکت به نام دکترلری هورنبرک در سال ۱۹۸۷ ساخته شد، اگرچه تکنولوژی ساخت آن به ۱۹۷۳ توسط هاروی سی ناتانسون (مخترع MEMS در سال ۱۹۶۵ )برمی گردد. او با استفاده از میلیون ها آینه متحرک میکروسکوپی سعی داشت تصویری متحرک یا یک ویدئو را ا یجاد کند؛ همان تکنولوژی کهامروز در پروژکتورهای دیجیتال به کار می رود. هدف از این مقاله طراحی میکروآینه با تحریک الکترواستاتیکی بر ای کاربرد در اپتیک تطبیقیمی باشد، در این مجموعه پیشرفت سیستم های میکرو الکترومکان یکی نوری و طبقه بندی این سیستم ها و انواع تحریک های استفاده شدهدر میکرو آینه ها و همچنین مقایسه و بیان مزایا و معایب آنها توضیح داده شده است که در اپتیک تطبیقی، می کروآینه ها نقش اساسی دارندو یکی از موثرترین ادوات در تکامل میکروسیستم ه ای اپتیکی نظ یر سویچ های نوری، پروژکتور های دی جیتال نوری، نمایشگرهای لیزر ،سیستم های خواندن بارکد، میکروسکوپه ای هم کانون می باشند. خصوصا انواع م یکرو آینه ها، ویژگی ها، کاربرد و پارامترهای میکرو آینه ها باعملگر الکترواستاتیکی بیان شده، که می توان میکرو آینه ها بر اساس نوع حرکت آنها، به چهار دسته ی منعطف، متحرک، پیستونی و پیچشیطبقه بندی کرد. مدل سا زی و روابط حاکم و نحوه ی طراحی و انتخاب پارامترهای مهم و موثر در م یکروآینه با تحریک الکترواستاتیکی شرحداده شده، که دو طرح میکروآینه با فنر یا بیم مستقیم و فنر پیچشی توسط نرم افزار COMSOL Multiphysics شبیه سازی شده است، درطراحی با تغییر پارمترهای موثر در میکروآینه میزان تغییرات بررسی شده است و در نتیجه مشخص شده که برای رسیدن به جابجایی بیشتربا ولتاژ محرک نسبتا کوچک در میکرو آینه ها، فنرهای پیچشی نسبت به بیم های مستقیم ارجهیت دارند .

Keywords:

اپتیک تطبیقی , الکترواستاتیکی , سیستم های میکرو الکترمکانیکی نوری , عملگر , میکروآینه پیچشی