Design and Simulation of a Low Actuation Voltage Capacitive MEMS Switch
Publish place: majlesi Journal of Electrical Engineering، Vol: 8، Issue: 3
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: English
View: 105
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_MJEE-8-3_008
تاریخ نمایه سازی: 13 شهریور 1402
Abstract:
In this paper we have proposed a new switch or structure for reducing actuation voltage. This switch is compared with four conventional structures considering the force range of ۱uN to ۳uN. We have used the ANSYS software for design and simulation for the switch parameters such as actuation voltage, collapse voltage, spring constant and resonant frequency. Small size (half the size of other proposed materials), which can reduce the manufacturing cost, and also low-valued spring constant, which results inactuation voltage reduction, are among more noticeable features of the proposed switch.
Keywords:
Authors
Ayub Soltani
Sadjad Institute of Higher Education, Mashhad, Iran
Mahmoud Ghasemi
Sadjad Institute of Higher Education, Mashhad, Iran
Khalil Mafinezhad
Sadjad Institute of Higher Education, Mashhad, Iran
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :