ساخت نانولوله های کربنی با ترکیب دو روش انباشت شیمیائی بخار فیلامان داغ و انباشت شیمیائی حرارتی

ما به روش انباشت شیمیائی بخار - فیلامان داغ، با گذراندن گاز هیدروکربنی از سیم نیکل – آهن ملتهب، کاتالیستی ای از جنس نیکـل و آهـن در بـستری از لایـه ی شـبه الماسی به صورت لایه ی نازک ساختیم . در این پروسه با آن که دمای سیم کم تر از دمای ذوب فلزات تشکیل دهنده ی آن بود، بدلیل اثر کاتـالیز دوگانـه از یـک سـو گـاز هیدروکربن باعث جدا شدن اتم های سیم فلزی شده و از سوی دیگر فیلامان ملتهب باعث ایجاد پلاسمایی از گاز هیدروکربنی شد . با توجه به این اثـر لایـه ی نـازکی از رادیکال های هیدروکربنی و اتم های فلزی ب ر روی زیرلایه ی سیلیسیم تشکیل شد . سپس با استفاده از روش انباشت شیمیائی بخار - حرارتی و عبـور گـاز هیـدروکربنی از روی لایه ی نازک کاتالیزی، نانولوله های کربنی را رشد دادیم . کم ترین قطر لوله های بدست آمده 16 نانومتر است .