تهیه لایه های های نازک تیتانیوم بهروش کندوپاش پلاسمایی و بررسی آهنگ نهشت به فاصله کاتد از زیرلایه و فشار
Publish place: Iranian Physics Conference 1385
Publish Year: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,426
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC85_162
تاریخ نمایه سازی: 13 بهمن 1385
Abstract:
در این کار تجربی فلز Ti بهصورت فیلم نازک با استفا ده از کندوپاش مگنترونی به روی بستر شیشه ای نشانده شده و تغییر آهنگ نهشت فیلم با فاصله کاتـد و زیرلایـه و همین طور فشار در سه حالت مختلف با منابع تغذیه RF و DC بطور جداگانه و با هم بررسی شده است . مقایسه نتایج تجربی حاصله نشان می دهند کـه آهنـگ نهـشت متناسب با در حالات مختلف ذکر شده در بالاست . در فشارهای بالاتر آهنگ نهشت به خاطر پراکندگی اتمهای کندوپاشی با مولکولهای گاز باقیمانده، کـاهش مـی یابد .
Authors
فرامرز هادیان
گروه حالت جامد دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
حسن بیدادی
گروه حالت جامد دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :