اثر ناخالصی ها در افزایش حساسیت حسگرهای گازی اکسید ایندیوم تبخیر شده به گاز هیدروژن و مقایسه نتایج با نمونه های اکسید قلع تهیه شده به روش اسپری هیدرولیزیز
Publish place: 13th Iranian Conference on Electric Engineering
Publish Year: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,642
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE13_014
تاریخ نمایه سازی: 27 آبان 1386
Abstract:
در این مقاله نتایج ساخت و تعیین ویژگی های حسگرهای گاز لایه نازک اکسید ایندیوم گزارش شده است . نمونه ها به روش تبخیر حرارتی بر روی زیرلایه شیشه ای تهیه شدند . اثر افزودن ناخالصی های Sb ، Se ، Ni ، Cr ، و Cd بر حساسیت این نمونه ها به ppm 2000گاز هیدروژن در فشار آتمسفر مورد مطالعه قرار گرفت . نتایج حاصله نشان داد که ناخالصی Ni بیشترین حساسیت را ایجاد می کن د . نمونه های اکسید ایندیوم تبخیری با نمونه های SnO2 که به روش اسپری هیدرولیزیز تهیه شد ه بود، مورد مقایسه قرار گرفتند . نتایج نشان داد که به طور کلی، لایه های تبخیری حساسیت بالاتری به گاز هیدروژن دارند . در حالی که لایه های اسپری شده رانش کمتر و پایداری بیشتری را در دراز مدت از خود نشان می دهند .
Keywords:
Authors
محمدباقر رحمانی
آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، دانشگاه فردوسی مشهد
سیدحسین کشمیری
آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، دانشگاه فردوسی مشهد
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :