مطالعه عددی سنسور میکروالکترومکانیکی آشکارساز صدا

Publish Year: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 641

This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ELEMECHCONF03_0765

تاریخ نمایه سازی: 9 مرداد 1395

Abstract:

در این پژوهش یک سیستم میکروالکترومکانیکی به منظور تشخیص گرادیان فشار که به عنوان یک آشکارساز صوت به کار می روند، به صورت عددی مورد مطالعه و بررسی قرار می گیرد و نتایج حاصل از مطالعه عددی با روش تحلیلی مقایسه می شوند. آشکارساز صوت مورد بررسی از یک دیافراگم به همراه آرایه ای از شانه های خازنی تشکیل شده است. دیافراگم یک صفحه با سختی مناسب به همراه آرایه ای از شانه های خازنی است که در اثر برخورد فشار صوتی حول محور پشتیبان در مرکز دیافراگ دوران می کند. این حرکت دورانی دیافراگم موجب ایجاد تغییر در ظرفیت خازنی و در نتیجه تغییر خروجی الکتریکی سیستم می شود. در این پژوهش به شبیه سازی عددی این سیستم می پردازیم و همچنین توانستیم با به کارگیری ترکیبی از شانه های خازنی ساده و شاخه ای موجب افزایش ظرفیت خازنی و در نتیجه حساسیت سیستم شویم.

Authors

معین یزدانی شال

گروه مهندسی مکانیک دانشگاه سیستان و بلوچستان

طاهره فنایی شیخ الاسلامی

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه سیستان و بلوچستان

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • Hohm, D. and R. Gerhard -Multhaupt, Silicon -dioxide electret transducer. ...
  • Scheeper, P., et al., A review of silicon microphones. Sensors ...
  • Miles, R., Comb sense microphone. 2009, Google Patents. ...
  • Miles, R., et al., A low-noise differential microphone inspired by ...
  • Sung, P.-H., et al. CMOS compatible directional microphone. in Microsystems, ...
  • Ando, S., et al. Novel theoretical design and fabrication test ...
  • Lisiewski, A., et al., Fly-ear inspired micro-sensor for sound source ...
  • Touse, M., et al., Fabrication of a m icro e ...
  • Younis, M.I., MEMS linear and nonlinear statics and dynamics. Vol. ...
  • Hah, D., et al., Theory and experiments of angular vertical ...
  • Miles, R.N., et al., A MEMS Low-Noise Sound Pressure Gradient ...
  • نمایش کامل مراجع