طراحی و شبیه سازی میکروژیروسکوپ الکترومکانیکی با تحریک و حسگری خازنی

Publish Year: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 443

This Paper With 8 Page And PDF and WORD Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ICMRS01_582

تاریخ نمایه سازی: 8 آبان 1395

Abstract:

؛ MEMS فناوری ساخت ادوات بسیار کوچک الکترومکانیکی است که در مقیاس نانو با سیستم های نانو الکترو مکانیکی (NEMS) تلفیق می شود. صنایع میکرو الکترومکانیکی به وفور مورد استفاده قرار می گیرند و به دلیل حجم و وزن کم، هزینه ساخت پایین استفاده از آنها روز به روز در حال افزایش است. دراین مطالعه، هدف طراحی و شبیه سازی میکرو ژایروسکوپ با تحریک و حسگری خازنی در ناحیه رزونانس اولیه جهت استفاده در صنعت خودرو و مطالعه تاثیر نوع رانش و حسگری، اعم از خطی و غیر خطی در پارامترهای حاکم بر مسئله اعم از ضریب کیفیت، پهنای باند، حساسیت و ... می باشد. مدل مورد نظر می تواند در صنایع هوا- فضا و همچنین سیستم های ناوبری کشتی ها و خودروها مورد استفاده قرار گیرد. همچنین در تجهیزات الکترونیکی به وفور از ژیروسکوپ های میکروالکترو مکانیکی استفاده می شود. با توجه به نتایج دو نوع میرایی در ژیروسکوپ های Mems وجود دارد و میرایی سازه ای در مقایسه با میرایی لزجی قابل صرف نظر است.

Keywords:

سیستم های میکرو الکترومکانیکی , ژیروسکوپ , استهلاک لایه ای هوا , شتاب کریولیس

Authors

صابر عزیزی

استادیار، مهندسی مکانیک، گروه مکانیک، دانشگاه صنعتی ارومیه

مهدی عظیمی سوران

کارشناسی ارشد، مهندسی مکانیک، گروه مکانیک، دانشگاه صنعتی ارومیه

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • Clark, W. A., et al. (1996). Surface micromachined Z-axis vibratory ...
  • Greiff, P., t al. (1991). Silicon monolithic micromec hanical gyroscope, ...
  • Jiang, X., et al. (2000). A monolithic surface micromachined Z-axis ...
  • Juneau, T., et al. (1997). Dual axis operation of a ...
  • Lutz, M., et al. (1997). A precision yaw rate sensor ...
  • Soderkvist, J. (1994). M icromachined gyroscopes, Sensors and Actuators A: ...
  • Tanaka, K., et al. (1995). A micromachined vibrating gyroscope, Sensors ...
  • Xie, H. and G. K. Fedder (2003). Fabrication, characterizati on, ...
  • نمایش کامل مراجع