طراحی و ساخت حسگراکسید قلع با حساسیت بالا به روش سل ژل و تکنیک لایه نشانی چرخشی

در این مقاله مراحل ساخت حسگر گاز اکسید قلع با روش سل زل به کمک دستگاه spinner در دمای 400 درجه سانتیگراد گزارش شده است. برای ساخت لایه های نازک اکسید قلع از SnCl2 و برای لایه نشانی از شیشه بهعنوان پایه استفاده شده است. عمل spin-coating با استفاده از دستگاه spinner و با سرعت های مختلف، لایه های با ضخامت های مختلف را نتیجه داده است، پس از ساخت حسگرها تغییرات مقاومت الکتریکی آنها بر حسب سرعت دستگاه و همچنین تغییرات حساسیت با سرعتهای مختلفspinner، برای گاز CO2 بررسی و منحنی های این تغییرات ترسیم گردید. در این تحقیق آزمایشگاهی پس از تحلیل و مطالعه اعداد بدست آمده و مقایسه آنها با یکدیگر، حساسیت بالا و خلوص خوبی برای نمونه های ساخته شده بدست آمد. همچنین یک سرعت بهینه (1500rpm) برای دستگاه spinner ثبت شده است.

Keywords:

حسگر گاز , دستگاه اسپینر , اسپین کوتینگ , لایه نازک , سل ژل